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ICP干法等離子去膠機(jī)

所屬分類：等離子去膠機(jī)

可BAW/SAW工藝中的光阻去除，配備單腔雙腔兩種類型

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產(chǎn)品詳情

ICP 干法等離子去膠機(jī)主要用于聚合物去除、ASHING、DESCUM、離子注入后光阻去除、表面殘留物清除等。ST3100腔體適用于4-8寸樣品，單次處理片數(shù)1片；ST3200腔體適用于4-8寸樣品，單次處理片數(shù)2片。

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